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半导体测试探针的主要应用领域包括芯片设计验证、晶圆测试和半导体成品测试。它起着连接芯片/晶圆与测试设备,并进行信号传输的核心作用,对于半导体产品的质量控制具有重要意义。
探针结构设计(如针形)作为半导体试验设备的关键部件、针头材料(如钨、鹬铜)、弹性大小等都会影响探针的稳定性、细微性、信号传导精度等,从而影响探针的测试精度。
可弹性探针是一个由螺旋弹簧组成的探针,其两端连接在上下柱栓上。螺旋弹簧的中间部分紧密缠绕在一起,以防止产生额外的电感和附件电阻。而弹簧的两端部分则被稀疏缠绕,以降低探针对被测试物体的压力。在检测集成电路时,信号会从下柱栓流向上方,形成导电路径。
探针是半导体试验所需的重要耗材。通过与试验机、分拣机、探针台配合使用,可以筛选出产品设计缺陷和制造缺陷,用于设计验证、晶圆试验和成品试验。它在确保产品产量、控制成本、指导芯片设计和工艺改进方面发挥着重要作用。
探针的要求
(1)质量问题:在使用过程中应定期进行质量检查。探针的质量差会导致测量误差增大,严重时可能会损坏实验设备。
(2)加工工艺问题:在探针的制作过程中,要探针的形状、尺寸的与稳定。
(3)使用注意事项:避免在测量过程中引入空气,勿使用有陷进、连续的探针以免扰动测量,对于使用多个探针进行测量的情况要确保探针之间的长度和间距足够。
(4)存储和保养问题:尽可能地存储环境无除尘、避光性好;探针表面不能有刮伤等损坏,使用前应清洗干净且消毒处理。
镀金探针废料的收集是回收过程的首要步骤。废料可以从电子制造厂、研究机构和废旧电子产品处理中心等渠道获取。收集过程需要与这些机构建立合作关系,确保废料的稳定供应。
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